Çalt depginde geçýän ýarymgeçiriji pudagynda ýokary hilli önümçilik prosesleri üçin takyk daşky gurşaw şertlerini saklamak möhümdir.Molekulýar şöhle epitaksiýasy (MBE), ýarymgeçiriji ýasamagyň esasy usuly, sowadyş tehnologiýasyndaky ösüşlerden, esasanam suwuk azotyň ulanylmagy bilen ep-esli peýda görýär wewakuum izolýasiýa turbalary (VIP). Bu blog möhüm rol oýnaýarVIPgüýçlendirmekde MBEnetijeliligini we ygtybarlylygyny nygtaýar.
MBE-de sowatmagyň ähmiýeti
Molekulýar şöhle epitaksiýasy (MBE)atom gatlaklaryny substratda goýmagyň ýokary gözegçilik edilýän usuly, tranzistorlar, lazerler we gün öýjükleri ýaly ýarymgeçiriji enjamlary öndürmek üçin zerurdyr. MBE-de talap edilýän ýokary takyklygy gazanmak üçin pes temperaturany saklamak möhümdir. Suwuk azot -196 ° C-den gaty pes gaýnadýanlygy sebäpli bu maksat üçin ulanylýar, çöketlik döwründe substratlaryň zerur temperaturada galmagyny üpjün edýär.
Suwuk azotyň MBE-de tutýan orny
Suwuk azot MBE proseslerinde aýrylmaz bolup, çökdürilişiň islenmeýän ýylylyk üýtgemezden ýüze çykmagyny üpjün edýän yzygiderli sowadyş mehanizmini üpjün edýär. Bu durnuklylyk, ýokary hilli ýarymgeçiriji materiallary öndürmek üçin möhümdir, sebäbi kiçijik temperatura üýtgemeleri hem atom gatlaklarynda kemçiliklere ýa-da gapma-garşylyklara sebäp bolup biler. Suwuk azotyň ulanylmagy MBE üçin zerur bolan aşa ýokary vakuum şertlerine ýetmäge kömek edýär, hapalanmagyň öňüni alýar we materiallaryň arassalygyny üpjün edýär.
MBE-de vakuum izolýasiýa turbalarynyň (VIP) artykmaçlyklary
Wakuum izolýasiýa turbalary (VIP)suwuk azotyň netijeli daşalmagynda öňegidişlikdir. Bu turbalar iki diwaryň arasyndaky vakuum gatlagy bilen işlenip, ýylylyk geçirişini ep-esli azaldýar we ammardan MBE ulgamyna geçip barýarka suwuk azotyň kriogen temperaturasyny saklaýar. Bu dizaýn, bugarmak sebäpli suwuk azotyň ýitgisini azaldýar, MBE enjamyna yzygiderli we ygtybarly üpjünçiligi üpjün edýär.
Netijelilik we çykdajylaryň netijeliligi
UlanmakVIPiçindeMBE goýmalarybirnäçe artykmaçlygy hödürleýär. Heatylylygyň peselmegi, az mukdarda azotyň zerurdygyny, iş çykdajylaryny peseldip, netijeliligi ýokarlandyrýandygyny aňladýar. Mundan başga-da, izolýasiýa aýratynlyklaryVIPAýaz doňmak we kriogen materiallaryny işlemek bilen baglanyşykly beýleki howplary azaltmak arkaly has howpsuz iş gurşawyna goşant goşuň.
Giňeldilen proses durnuklylygy
VIPsuwuk azotyň syýahatynyň dowamynda yzygiderli temperaturada galmagyny üpjün edýärMBE ulgamy. Bu durnuklylyk, ýokary takyk ýarymgeçiriji öndürmek üçin zerur bolan berk şertleri saklamak üçin möhümdir. Temperaturanyň üýtgemeginiň öňüni almak bilen,VIPhas soňky önümleriň umumy hilini we öndürijiligini ýokarlandyryp, birmeňzeş we kemçiliksiz ýarymgeçiriji gatlaklary öndürmäge kömek edýär.
HL kriogen enjamlary: Öňdebaryjy suwuk azot aýlanyş ulgamlary bilen öňdebaryjy
HL Cryogenic Equipment Co., Ltd iň döwrebap işläp düzdi we gözlediSuwuk azot transport aýlanyş ulgamysaklaýyş tankyndan başlap, MBE enjamlary bilen gutarýar. Bu ulgam suwuk azot daşamak, haramlygy boşatmak, basyşy azaltmak we kadalaşdyrmak, azot zyňmak we gaýtadan işlemek ýaly wezipeleri durmuşa geçirýär. Processhli proses kriogen datçikler bilen gözegçilik edilýär we awtomatiki we el bilen işlemek usullarynyň arasynda wyklýuçatel mümkinçiligini döredýän PLC tarapyndan dolandyrylýar.
Häzirki wagtda bu ulgam DCA, RIBER we FERMI ýaly öňdebaryjy öndürijilerden MBE enjamlaryny durnukly işleýär. GoşulmagyHL kriogen enjamlary'ösen ulgam, suwuk azotyň ygtybarly we täsirli üpjün edilmegini üpjün edýär, MBE amallarynyň öndürijiligini we durnuklylygyny hasam ýokarlandyrýar.
Netije
Ondarymgeçiriji pudagynda, esasanam MBE goýmalary, suwuk azotyň ulanylmagy wewakuum izolýasiýa turbalary (VIP)aýrylmazdyr.VIPsowadyş ulgamlarynyň netijeliligini we tygşytlylygyny ýokarlandyrmak bilen çäklenmän, ýokary hilli ýarymgeçiriji ýasamak üçin zerur durnuklylygy we takyklygy üpjün edýär. Öňdebaryjy ýarymgeçiriji enjamlara bolan islegiň artmagy bilen, täzeliklerVIPtarapyndan işlenip düzülen ýaly tehnologiýalar we ösen ulgamlarHL kriogen enjamlarypudagyň berk talaplaryny kanagatlandyrmakda we geljekdäki ösüşlere itergi bermekde möhüm rol oýnar.
Peýdalaryny peýdalanmak bilenVIPweHL kriogen enjamlary'sçylşyrymlySuwuk azot transport aýlanyş ulgamy, ýarymgeçiriji öndürijiler MBE amallarynda has yzygiderliligi, netijeliligi we howpsuzlygy gazanyp bilerler we netijede indiki nesil elektron enjamlarynyň ösmegine goşant goşarlar.
Iş wagty: Iýun-15-2024
