Suwuk azot sowadyş ulgamlary ýarymgeçiriji we çip senagatynda giňden ulanylýar, şol sanda,
- Molekulýar şöhle epitaksiýasynyň tehnologiýasy (MBE)
- COB paketinden soň çip synagy
Degişli önümler
Wakuum izolýasiýa turba seriýasy
Wakuum izolýasiýa çeýe şlang seriýasy
Dinamiki vakuum nasos ulgamy
Wakuum izolirlenen faza bölüji seriýasy
Wakuum izolýasiýa klapan seriýasy
Turbage ulgamy goldaw enjamlary
MOLECULAR BEAM EPITAXY
Molekulýar şöhle epitaksiýasynyň (MBE) tehnologiýasy wakuum bugarmak tehnologiýasy arkaly ýarymgeçirijiniň inçe film materiallaryny taýýarlamak üçin 1950-nji ýyllarda işlenip düzüldi.Ultra ýokary vakuum tehnologiýasynyň ösmegi bilen tehnologiýany ulanmak ýarymgeçiriji ylym pudagyna çenli giňeldi.
HL MBE suwuk azot sowadyş ulgamynyň, MBE tehnologiýasy üçin ýörite MBE suwuk azot sowadyş ulgamyny we köp kärhanalarda, uniwersitetlerde we gözleg institutlarynda ulanylýan wakuum izolýasiýa turbageçiriji ulgamynyň üstünlikli işlenip düzülmegi üçin tehniki oňurgany gurandygyny gördi. .
Ondarymgeçiriji we çip senagatynyň umumy problemalary,
- Suwuk azotyň terminal (MBE) enjamlaryna basyşy.Zyýanly terminal (MBE) enjamlaryndan basyşyň artykmaçlygynyň öňüni alyň.
- Birnäçe kriogen suwuk giriş we çykyş dolandyryşlary
- Terminal enjamlaryna suwuk azotyň temperaturasy
- Kriogen gaz zyňyndylarynyň ýeterlik mukdary
- (Awtomatiki) Esasy we şaha setirleriniň çalyşmagy
- Basyşy sazlamak (azaltmak) we VIP-iň durnuklylygy
- Tankdan bolup biläýjek hapalary we buz galyndylaryny arassalamak
- Terminalyň suwuk enjamlaryny doldurmagyň wagty
- Turbageçiriji deslapky sowadyş
- VIP ulgamynda suwuk garşylyk
- Ulgamyň üznüksiz hyzmaty wagtynda suwuk azotyň ýitmegine gözegçilik
HL-iň vakuum izolýasiýa turbasy (VIP) ASME B31.3 basyş turbasynyň kody standart hökmünde guruldy.Müşderi zawodynyň netijeliligini we tygşytlylygyny üpjün etmek üçin in Engineeringenerçilik tejribesi we hiline gözegçilik ukyby.
Çözgütler
HL kriogen enjamlary müşderilere ýarymgeçiriji we çip senagatynyň talaplaryny we şertlerini kanagatlandyrmak üçin vakuum izolýasiýa turba ulgamy bilen üpjün edýär:
1. Hil dolandyryşy ulgamy: ASME B31.3 Basyş turba kody.
2. Awtomatiki dolandyryş funksiýasy bolan köp kriogen suwuk giriş we rozetka bilen ýörite faza bölüji, gaz çykarylyşynyň, gaýtadan işlenen suwuk azotyň we suwuk azotyň temperaturasynyň talaplaryna laýyk gelýär.
3. equeterlik we wagtynda işleýän dizaýn terminaly enjamlaryň elmydama dizaýn edilen basyş bahasynyň içinde işlemegini üpjün edýär.
4.Gaz-suwuk barýer, VI turbanyň ahyrynda dik VI turbada ýerleşdirilýär.Gaz-suwuk barýer, gaz turbasynyň ujundan VI turba geçirijisine çenli ýylylygy blokirlemek we ulgamyň üznüksiz we aralyk hyzmaty wagtynda suwuk azotyň ýitgisini netijeli azaltmak üçin gaz möhüri ýörelgesini ulanýar.
Wakuum izolýasiýa klapan (VIV) seriýasy tarapyndan dolandyrylýan 5.VI turbalar: Wakuum izolýasiýa (pnewmatik) ýapyk klapan, wakuum izolýasiýa barlag klapany, vakuum izolýasiýa kadalaşdyryjy klapan we ş.m. goşmak bilen, VIP-i dolandyrmak üçin dürli görnüşli VIV modully bolup biler. talap edilýär.VIV, izolýasiýa bejergisiz, öndürijide VIP prefabrikasy bilen birleşdirildi.VIV-iň möhür bölümini aňsatlyk bilen çalşyp bolýar..
6. Içki turbanyň üstki arassalygy üçin goşmaça talaplar bar bolsa arassaçylyk.Müşderilere poslamaýan polat dökülmesini hasam azaltmak üçin BA ýa-da EP poslamaýan polat turbalaryny VIP içki turbalar hökmünde saýlamagy maslahat berilýär.
7. Wakuum izolýasiýa süzgüji: Mümkin bolan hapalary we buz galyndylaryny tankdan arassalaň.
8. Birnäçe günden ýa-da has uzak wagtlap ýapylandan ýa-da hyzmat edilenden soň, kriogen suwuklygy VI turbageçiriji we terminal enjamlaryna gönüden-göni girenden soň buz şlaklaryndan gaça durmak üçin, VI turba we terminal enjamlaryny kriogen suwuklygy girmezden ozal sowatmak zerur.Öňünden sowatmak funksiýasy dizaýnda göz öňünde tutulmalydyr.Terminal enjamlary we klapan ýaly VI turba goldaw enjamlary üçin has gowy gorag üpjün edýär.
9. Dinamiki we statiki vakuum izolýasiýa (çeýe) turba ulgamy üçin hem kostýum.
10.Dinamiki vakuum izolýasiýa (çeýe) turba ulgamy: VI çeýe şlanglar we / ýa-da VI turbalar, jumper şlanglary, vakuum izolýasiýa klapan ulgamy, faza bölüjileri we dinamiki wakuum nasos ulgamy (wakuum nasoslary, solenoid klapanlar we wakuum ölçeýjiler we ş.m.). ).VIeke-täk VI çeýe şlangyň uzynlygy ulanyjynyň talaplaryna laýyklykda düzülip bilner.
11. Dürli baglanyşyk görnüşleri: Wakuum süngü birikmesi (VBC) görnüşi we kebşirlenen birikme saýlanyp bilner.VBC görnüşi ýerinde izolýasiýa bejergisine mätäç däldir.