Molekulýar şöhle epitaksiýasynyň gysgaça mazmuny (MBE)
Molekulýar şöhle epitaksiýasynyň (MBE) tehnologiýasy wakuum bugarmak tehnologiýasy arkaly ýarymgeçirijiniň inçe film materiallaryny taýýarlamak üçin 1950-nji ýyllarda işlenip düzüldi. Ultra ýokary vakuum tehnologiýasynyň ösmegi bilen tehnologiýany ulanmak ýarymgeçiriji ylym pudagyna çenli giňeldildi.
Ondarymgeçiriji materiallaryň gözleginiň sebäbi, ulgamyň işleýşini gowulandyryp biljek täze enjamlara bolan islegdir. Öz gezeginde täze material tehnologiýasy täze enjamlar we täze tehnologiýa öndürip biler. Molekulýar şöhle epitaksiýasy (MBE) epitaksial gatlagyň (köplenç ýarymgeçiriji) ösmegi üçin ýokary wakuum tehnologiýasydyr. Sourceeke kristal substrata täsir edýän çeşme atomlarynyň ýa-da molekulalarynyň ýylylyk şöhlesini ulanýar. Amalyň aşa ýokary vakuum aýratynlyklary ýerinde metallaşmaga we täze ösen ýarymgeçiriji ýüzlerde izolýasiýa materiallarynyň ösmegine mümkinçilik döredýär, netijede hapalanmaz interfeýsler bolýar.
MBE tehnologiýasy
Molekulýar şöhle epitaksiýasy ýokary wakuumda ýa-da aşa ýokary wakuumda (1 x 10) geçirildi-8Pa) daşky gurşaw. Molekulýar şöhle epitaksiýasynyň iň möhüm tarapy, pes depozit derejesidir, adatça filmiň epitaksial sagatda 3000 nm-den az tizlikde ösmegine mümkinçilik berýär. Şeýle pes çöketlik derejesi, beýleki depozit usullary bilen deň derejede arassaçylyga ýetmek üçin ýeterlik ýokary wakuumy talap edýär.
Aboveokarda beýan edilen aşa ýokary wakuumy kanagatlandyrmak üçin MBE enjamy （Knudsen öýjüginiň sowadyjy gatlagy bar we suwuk azot aýlanyş ulgamy arkaly ösüş kamerasynyň aşa ýokary wakuum gurşawy saklanmalydyr. Suwuk azot enjamyň içki temperaturasyny 77 Kelwine (−196 ° C) sowadýar. Pes temperatura gurşawy wakuumdaky hapalaryň mukdaryny hasam azaldyp, inçe filmleriň çökmegi üçin has gowy şertleri döredip biler. Şonuň üçin MBE enjamlary üçin -196 ° C suwuk azotyň üznüksiz we yzygiderli üpjün edilmegi üçin ýörite suwuk azot sowadyş aýlanyş ulgamy zerurdyr.
Suwuk azot sowadyjy aýlanyş ulgamy
Wakuum suwuk azot sowadyş aýlanyş ulgamy, esasan,
● kriogen tank
● esasy we şahaly vakuum kurtka turbasy / vakuum kurtkaly şlang
● MBE ýörite faza bölüji we vakuum kurtkaly gaz turbasy
● dürli vakuum kurtkaly klapanlar
● gaz-suwuk barýer
● vakuum kurtkaly süzgüç
● dinamiki wakuum nasos ulgamy
● Gyzdyrma ulgamyny sowatmak we arassalamak
HL kriogen enjamlary kompaniýasy MBE suwuk azot sowadyş ulgamynyň islegine üns berdi, MBE tehnologiýasy üçin ýörite MBE suwuk azot örtük ulgamyny we wakuum izolýatynyň doly toplumyny üstünlikli ösdürmek üçin tehniki oňurgany gurady.edköp kärhanalarda, uniwersitetlerde we gözleg institutlarynda ulanylýan turba ulgamy.
HL kriogen enjamlary
1992-nji ýylda esaslandyrylan “HL Cryogenic Equipment” Hytaýdaky “Chengdu Holy Cryogenic Equipment” kompaniýasyna degişli marka. HL kriogen enjamlary, ýokary vakuum izolýasiýa edilen kriogen turba ulgamyny we degişli goldaw enjamlaryny dizaýn etmäge we öndürmäge borçlanýar.
Has giňişleýin maglumat üçin resmi web sahypasyna girmegiňizi haýyş edýäriswww.hlcryo.comýa-da e-poçta iberiňinfo@cdholy.com.
Poçta wagty: Maý-06-2021
