Molekulýar şöhle epitaksiýasy (MBE) barada gysgaça maglumat
Molekulýar Şöhle Epitaksiýasy (MBE) tehnologiýasy 1950-nji ýyllarda wakuum buharlandyrma tehnologiýasyny ulanyp ýarymgeçiriji inçe plýonka materiallaryny taýýarlamak üçin işlenip düzüldi. Ultra ýokary wakuum tehnologiýasynyň ösmegi bilen tehnologiýanyň ulanylyşy ýarymgeçiriji ylmynyň ulgamyna hem giňeldildi.
Ýarymgeçiriji materiallary öwrenmek üçin täze enjamlara bolan isleg esaslanýar, bu bolsa ulgamyň işini gowulandyryp biler. Öz gezeginde, täze material tehnologiýasy täze enjamlary we täze tehnologiýalary öndürip biler. Molekulýar şöhle epitaksiýasy (MBE) epitaksial gatlagyň (köplenç ýarymgeçiriji) ösüşi üçin ýokary wakuum tehnologiýasydyr. Ol ýeke kristal substrata täsir edýän çeşme atomlarynyň ýa-da molekulalaryň ýylylyk şöhlesini ulanýar. Bu prosesiň örän ýokary wakuum häsiýetnamalary täze ösdürilen ýarymgeçiriji ýüzlerde izolýasiýa materiallarynyň ýerinde metallaşmagyna we ösmegine mümkinçilik berýär, netijede hapalanmasyz serhetler emele gelýär.
MBE tehnologiýasy
Molekulýar şöhle epitaksiýasy ýokary wakuumda ýa-da örän ýokary wakuumda geçirildi (1 x 10-8Pa) daşky gurşaw. Molekulýar şöhle epitaksiýasynyň iň möhüm tarapy onuň pes çökündi tizligidir, bu bolsa adatça plýonkanyň sagatda 3000 nm-den az tizlikde epitaksial ösmegine mümkinçilik berýär. Şeýle pes çökündi tizligi beýleki çökündi usullary bilen deň derejede arassalyga ýetmek üçin ýeterlik derejede ýokary wakuum talap edýär.
Ýokarda beýan edilen örän ýokary wakuum şertlerine laýyk gelmek üçin, MBE enjamynyň (Knudsen öýjük) sowadyjy gatlagy bar we ösüş kamerasynyň örän ýokary wakuum gurşawy suwuk azot aýlanyş ulgamy arkaly saklanmalydyr. Suwuk azot enjamyň içki temperaturasyny 77 Kelwine (−196 °C) çenli sowadýar. Pes temperatura gurşawy wakuumdaky hapaçylyklaryň mukdaryny has-da azaldyp we inçe plýonkalaryň çökmegi üçin has gowy şertleri döredip biler. Şonuň üçin, MBE enjamlarynyň -196 °C suwuk azotyň üznüksiz we durnukly üpjünçiligini üpjün etmek üçin ýörite suwuk azot sowadyş aýlanyş ulgamy gerek.
Suwuk azot sowadyjy aýlanyşyk ulgamy
Wakuum suwuk azot sowadyjy aýlanyşyk ulgamy, esasan, öz içine alýar,
● kriogen bak
● esasy we şaha wakuum örtükli turba / wakuum örtükli şlang
● MBE ýörite faza bölüjisi we wakuum örtükli çykyş turbasy
● dürli wakuum örtükli klapanlar
● gaz-suwuklyk päsgelçiligi
● wakuum örtükli süzgüç
● dinamiki wakuum nasos ulgamy
● Öňünden sowatmak we arassalamak arkaly gaýtadan gyzdyrmak ulgamy
HL Cryogenic Equipment Company MBE suwuk azot sowadyş ulgamynyň islegini, MBE tehnologiýasy üçin ýörite MBE suwuk azot sowadyş ulgamyny we wakuum izolýasiýasynyň doly toplumyny üstünlikli işläp düzmek üçin guramaçylykly tehniki esasy ulgamy belledi.edköp kärhanalarda, uniwersitetlerde we ylmy-barlag institutlarynda ulanylan turba ulgamy.
HL kriogen enjamlary
1992-nji ýylda esaslandyrylan HL Cryogenic Equipment Hytaýyň Chengdu Holy Cryogenic Equipment kompaniýasyna degişli brenddir. HL Cryogenic Equipment ýokary wakuum izolýasiýaly kriogen turba ulgamynyň we degişli goldaw enjamlarynyň dizaýnyna we önümçiligine ygrarlydyr.
Has giňişleýin maglumat üçin, resmi web sahypasyna giriňwww.hlcryo.comýa-da e-poçta salgysynainfo@cdholy.com.
Ýerleşdirilen wagty: 2021-nji ýylyň 6-njy maýy
