Tehnologiýa
Molekulýar şöhle epitaksiýasy ýa-da MBE, kristal substratlarynda ýokary hilli inçe kristal plyonkalaryny ösdürip ýetişdirmegiň täze usulydyr. Ultra ýokary wakuum şertlerinde, gyzdyryjy peç arkaly ähli zerur komponentler bilen üpjün edilýär we bug öndürilýär, şöhle atom ýa-da molekulýar şöhle bilen birleşdirilenden soň emele gelen deşikler arkaly, monokristal substratyň degişli temperaturasyna gönüden-göni inýeksiýa edilýär, molekulýar şöhle substrata skanerlenýär we şol bir wagtyň özünde kristal deňleşdiriş gatlaklaryndaky molekulalaryň ýa-da atomlaryň substratda inçe plyonka "ösüşini" üpjün edip bilýär.
MBE enjamlarynyň kadaly işlemegi üçin ýokary arassa, pes basyşly we örän arassa suwuk azotyň enjamyň sowadyjy kamerasyna üznüksiz we durnukly daşalmagy zerurdyr. Umuman alanyňda, suwuk azot berýän çelek 0,3MPa bilen 0,8MPa aralygynda çykyş basyşyna eýe bolýar. -196℃ temperaturasyndaky suwuk azot turba geçiriji ulagynda aňsatlyk bilen azota öwrülýär. Gaz-suwuklyk gatnaşygy takmynan 1:700 bolan suwuk azot turba geçirijide gazlaşdyrylandan soň, ol köp mukdarda suwuk azot akymynyň giňişligini eýelär we suwuk azot turba geçirijisiniň ahyryndaky kadaly akymy azaldar. Mundan başga-da, suwuk azot saklaýjy çelekde arassalanmadyk hapa-çukurlaryň bolmagy mümkin. Suwuk azot turba geçirijisinde çygly howanyň bolmagy buz şlaklarynyň emele gelmegine hem sebäp bolar. Eger bu hapa-çukurlar enjama goýberilse, enjama garaşylmadyk zyýan ýetirer.
Şonuň üçin daşarky saklaýyş çeleklerindäki suwuk azot tozansyz ussahanadaky MBE enjamlaryna ýokary netijelilik, durnuklylyk we arassalyk bilen daşalýar, pes basyş, azot ýok, hapaçylyk ýok, 24 sagat üznüksiz, şeýle daşama dolandyryş ulgamy hünärli önümdir.
MBE enjamlaryna laýyk gelýär
2005-nji ýyldan bäri HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) bu ulgamy optimizirläp we kämilleşdirip, halkara MBE enjam öndürijileri bilen hyzmatdaşlyk edýär. DCA, REBER ýaly MBE enjam öndürijileri biziň kompaniýamyz bilen hyzmatdaşlyk gatnaşyklaryny saklaýarlar. DCA we REBER ýaly MBE enjam öndürijileri köp sanly taslamalarda hyzmatdaşlyk etdiler.
“Riber SA” molekulýar şöhle epitaksiýasy (MBE) önümleriniň we birleşme ýarymgeçirijileri öwrenmek we senagat ulanylyşlary üçin degişli hyzmatlaryň öňdebaryjy global üpjün edijisidir. “Riber MBE” enjamy örän ýokary gözegçilik bilen substratyň üstüne örän inçe materiallar gatlaklaryny goýup bilýär. “HL Cryogenic Equipment” (HL CRYO) kompaniýasynyň wakuum enjamlary “Riber SA” bilen enjamlaşdyrylandyr. Iň uly enjam “Riber 6000”, iň kiçisi bolsa “Compact 21”. Ol gowy ýagdaýda we müşderiler tarapyndan ykrar edildi.
DCA dünýäde öňdebaryjy oksid MBE-dir. 1993-nji ýyldan bäri oksidlenme tehnikalarynyň, antioksidant substrat gyzdyrylmagynyň we antioksidant çeşmeleriniň ulgamlaýyn işlenip düzülmegi amala aşyryldy. Şonuň üçin köp sanly öňdebaryjy laboratoriýalar DCA oksid tehnologiýasyny saýladylar. Kompozit ýarymgeçiriji MBE ulgamlary bütin dünýäde ulanylýar. HL Kriogen Enjamlarynyň (HL CRYO) VJ suwuk azot aýlanyş ulgamy we DCA-nyň köp sanly modelleriniň MBE enjamlary P600, R450, SGC800 we ş.m. ýaly köp taslamalarda deň tejribe toplady.
Öndürijilik tablisasy
| Hytaý Ylymlar Akademiýasynyň Şanhaý tehniki fizika instituty |
| Hytaýyň Elektronika Tehnologiýalary Korporasiýasynyň 11-nji Instituty |
| Hytaý Ylymlar Akademiýasynyň Ýarymgeçirijiler instituty |
| Huawei |
| Alibaba DAMO akademiýasy |
| Powertech Technology Inc. |
| Delta Electronics Inc. |
| Suzhou Everbraýt Fotonika |
Ýerleşdirilen wagty: 2021-nji ýylyň 26-njy maýy
