Tehnologiýa
Molekulýar şöhle epitaksiýasy ýa-da MBE, hrustal substratlarda kristallaryň ýokary hilli inçe filmlerini ösdürip ýetişdirmegiň täze usulydyr. Ultra ýokary vakuum şertlerinde ýyladyş peçiniň üsti bilen zerur ähli komponentler bilen enjamlaşdyrylýar we şöhle atom ýa-da molekulýar şöhläni birleşdirenden soň emele gelen deşikleriň üsti bilen, ýekeje kristal substratyň degişli temperaturasyna göni sanjym, molekulýar şöhläni dolandyrýar substraty şol bir wagtyň özünde skanirlemek, kristal deňleşdiriş gatlaklaryndaky molekulalary ýa-da atomlary substratyň "ösüşinde" inçe film emele getirip biler.
MBE enjamlarynyň kadaly işlemegi üçin ýokary arassalyk, pes basyş we aşa arassa suwuk azot enjamyň sowadyş kamerasyna yzygiderli we durnukly daşalmalydyr. Umuman, suwuk azot bilen üpjün edýän tankyň çykaryş basyşy 0,3MPa bilen 0.8MPa aralygynda bolýar. -196 at suwuk azot turba geçiriji wagtynda azotda aňsat buglanýar. 1: 700 töweregi gaz-suwuk gatnaşygy bolan suwuk azot turbada gazlandyrylansoň, köp mukdarda suwuk azot akymyny eýelär we suwuk azot turbasynyň soňundaky adaty akymy azaldar. Mundan başga-da, suwuk azot saklaýan bakda, arassalanmadyk galyndylaryň bolmagy ähtimal. Suwuk azot turbasynda çygly howanyň bolmagy buz şlaklarynyň döremegine sebäp bolar. Bu hapalar enjamlara zyňylsa, enjamlara garaşylmadyk zeper ýeter.
Şonuň üçin açyk ammardaky suwuk azot ýokary netijeliligi, durnuklylygy we arassalygy bilen tozansyz ussahanada MBE enjamlaryna daşalýar we pes basyş, azot ýok, hapalar ýok, 24 sagat üznüksiz, şeýle transport gözegçilik ulgamy ökde önüm.
MBE enjamlaryna gabat gelmek
2005-nji ýyldan bäri HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) bu ulgamy optimallaşdyrýar we kämilleşdirýär we halkara MBE enjam öndürijileri bilen hyzmatdaşlyk edýär. MBE enjam öndürijiler, şol sanda DCA, REBER, biziň kompaniýamyz bilen hyzmatdaşlyk edýär. MBE enjam öndürijileri, şol sanda DCA we REBER, köp sanly taslamada hyzmatdaşlyk etdiler.
Riber SA, ýarymgeçirijiniň gözlegleri we önümçilik goşundylary üçin molekulýar şöhle epitaksiýasy (MBE) önümlerini we degişli hyzmatlary öňdebaryjy üpjün ediji. Riber MBE enjamy gaty ýokary dolandyryş bilen gaty inçe materiallary substrata ýerleşdirip biler. “HL Cryogenic Equipment” (HL CRYO) wakuum enjamlary “Riber SA” bilen enjamlaşdyryldy Iň uly enjam “Riber 6000”, iň kiçisi “Compact 21”. Gowy ýagdaýy we müşderiler tarapyndan ykrar edildi.
DCA dünýäde öňdebaryjy oksid MBE. 1993-nji ýyldan başlap, okislenme usullarynyň, antioksidant substratyň ýyladylmagynyň we antioksidant çeşmeleriniň yzygiderli ösdürilmegi amala aşyrylýar. Şol sebäpli köp sanly öňdebaryjy laboratoriýa DCA oksid tehnologiýasyny saýlady. Kompozit ýarymgeçiriji MBE ulgamlary bütin dünýäde ulanylýar. HL kriogen enjamlarynyň (HL CRYO) VJ suwuk azot aýlanyş ulgamy we DCA-nyň birnäçe modeliniň MBE enjamlary, P600, R450, SGC800 we ş.m. köp taslamada deňeşdirilen tejribä eýe.
Öndürijilik tablisasy
| Şanhaý Tehniki Fizika Instituty, Hytaý Ylymlar akademiýasy |
| Hytaýyň elektronika tehnologiýa korporasiýasynyň 11-nji instituty |
| Ondarymgeçirijiler instituty, Hytaý Ylymlar akademiýasy |
| Huawei |
| Alibaba DAMO akademiýasy |
| Powertech Technology Inc. |
| Delta Electronics Inc. |
| Suzhou Everbright Photonics |
Iş wagty: 26-2021-nji maý
