Suwuk azot sowadyjy ulgamlary ýarymgeçirijiler we çip senagatynda giňden ulanylýar, şol sanda,
- Molekulýar Şöhle Epitaksiýasynyň (MBE) tehnologiýasy
- COB paketinden soň çipiň synagy
Baglanyşykly önümler
Wakuum izolýasiýaly turba seriýasy
Wakuum izolýasiýaly çeýe şlang seriýasy
Dinamik Wakuum Nasos Ulgamy
Wakuum izolýasiýaly faza bölüji seriýasy
Wakuum izolýasiýaly klapan seriýasy
Turba Ulgamyny Goldamak Enjamlary
MOLEKULÝAR ŞÖHLE EPITAKSIÝASY
Molekulýar Şöhle Epitaksiýasy (MBE) tehnologiýasy 1950-nji ýyllarda wakuum buharlandyrma tehnologiýasyny ulanyp ýarymgeçiriji inçe plýonka materiallaryny taýýarlamak üçin işlenip düzüldi. Ultra ýokary wakuum tehnologiýasynyň ösmegi bilen tehnologiýanyň ulanylyşy ýarymgeçiriji ylmynyň ulgamyna hem giňeldildi.
HL MBE suwuk azot sowadyş ulgamynyň, MBE tehnologiýasy üçin ýörite MBE suwuk azot sowadyş ulgamyny üstünlikli işläp düzmek üçin guramaçylykly tehniki esasyň we köp kärhanalarda, uniwersitetlerde we ylmy-barlag institutlarynda ulanylan wakuum izolýasiýaly turba ulgamynyň doly toplumynyň zerurlygyny belledi.
Ýarymgeçirijiler we çip senagatynyň umumy meselelerine aşakdakylar girýär:
- Suwuk azotyň terminal (MBE) enjamlaryna basyşy. Terminal (MBE) enjamlaryna zeper ýetirýän basyşyň artykmaç ýüklenmesiniň öňüni alyň.
- Köp sanly kriogen suwuklyk giriş we çykyş dolandyryşlary
- Suwuk azotyň terminal enjamlaryna temperaturasy
- Kriogen gaz zyňyndylarynyň ýeterlik mukdary
- Esasy we şahamça liniýalarynyň (awtomatiki) geçişi
- VIP-iň basyşyny sazlamak (azaltmak) we durnuklylygy
- Çäkdäki mümkin bolan hapaçylyklary we buz galyndylaryny arassalamak
- Terminal suwuklyk enjamlarynyň doldurylyş wagty
- Turba geçirijisiniň öňünden sowatylmagy
- VIP ulgamynda suwuklyga garşylyk
- Sistemanyň üznüksiz hyzmaty wagtynda suwuk azotyň ýitgisini gözegçilikde saklamak
HL-iň Wakuum izolýasiýaly turbasy (VIP) standart hökmünde ASME B31.3 Basyşly turba geçirijileriniň koduna laýyklykda guruldy. Müşderiniň zawodynyň netijeliligini we tygşytlylygyny üpjün etmek üçin inženerçilik tejribesi we hil gözegçiligi ukyby.
ÇÖZÜMLER
HL Cryogenic Equipment ýarymgeçirijiler we çip senagatynyň talaplaryna we şertlerine laýyk gelmek üçin müşderilere wakuum izolýasiýaly turba ulgamyny hödürleýär:
1.Hil dolandyryş ulgamy: ASME B31.3 Basyşly turba geçirijileriniň kody.
2. Awtomatiki dolandyryş funksiýasy bolan köp sanly kriogen suwuklyk girişi we çykyşy bolan ýörite faza bölüjisi gaz çykarylyşynyň, gaýtadan işlenen suwuk azotyň we suwuk azotyň temperaturasynyň talaplaryna laýyk gelýär.
3. Egzozyň ýeterlik we wagtynda dizaýny terminal enjamlarynyň hemişe dizaýn edilen basyş gymmatynyň çäginde işlemegini üpjün edýär.
4. Gaz-suwuklyk päsgelçiligi VI turbasynyň ugrunda dik VI turbasyna ýerleşdirilýär. Gaz-suwuklyk päsgelçiligi VI turbasynyň ugrundan VI turbasyna geçýän ýylylygyň öňüni almak we ulgamyň üznüksiz we aralykly hyzmaty wagtynda suwuk azotyň ýitgisini netijeli azaltmak üçin gaz möhürleme prinsipini ulanýar.
5.VI Wakuum izolýasiýaly klapan (VIV) seriýasy bilen dolandyrylýan turbalar: Wakuum izolýasiýaly (pnewmatik) ýapyjy klapan, wakuum izolýasiýaly gözegçilik klapany, wakuum izolýasiýaly düzgünleşdiriji klapan we ş.m. bilen birlikde. Zerur bolanda VIP-i dolandyrmak üçin dürli görnüşli VIV modullary birleşdirilip bilner. VIV önüm öndürijide VIP öňünden taýýarlanyş bilen birleşdirilýär, ýerinde izolýasiýaly işlenilmeýär. VIV-iň möhür birligi aňsatlyk bilen çalşyrylyp bilner. (HL müşderiler tarapyndan bellenen kriogen klapan markasyny kabul edýär we soňra HL tarapyndan wakuum izolýasiýaly klapanlary öndürýär. Klapanlaryň käbir markalaryny we modellerini wakuum izolýasiýaly klapanlara geçirip bolmazlygy mümkin.)
6. Içki turbanyň ýüzüniň arassalygy üçin goşmaça talaplar bar bolsa, arassaçylyk. Müşderilere polat dökülmegini has-da azaltmak üçin VIP içki turbalar hökmünde BA ýa-da EP polat turbalaryny saýlamak maslahat berilýär.
7. Wakuum izolýasiýaly süzgüç: Bakdaky mümkin bolan hapaçylyklary we buz galyndylaryny arassalaň.
8. Birnäçe gün ýa-da ondan köp wagtlap ýapylandan ýa-da tehniki hyzmatdan soň, kriogen suwuklyk gönüden-göni VI turbalaryna we terminal enjamlaryna girenden soň buz şlaklarynyň gaça durmagy üçin, kriogen suwuklyk girmezden öň VI turbalaryny we terminal enjamlaryny öňünden sowatmak örän zerurdyr. Öňünden sowatmak funksiýasy dizaýnda göz öňünde tutulmalydyr. Ol terminal enjamlary we klapanlar ýaly VI turbalaryny goldaýan enjamlar üçin has gowy goragy üpjün edýär.
9. Dinamik we statik wakuum izolýasiýaly (çeýe) turba ulgamy üçin laýyk gelýär.
10. Dinamik Wakuum Izolýasiýaly (Eýe) Turba Ulgamy: VI Eýeli Şlanglardan we/ýa-da VI Turbadan, Geçiriji Şlanglardan, Wakuum Izolýasiýaly Klapan Ulgamyndan, Faza Aýyryjylaryndan we Dinamik Wakuum Nasos Ulgamyndan (wakuum nasoslary, solenoid klapanlar we wakuum ölçegleri we ş.m. bilen birlikde) ybarat. Ýeke VI Eýeli Şlangyň uzynlygy ulanyjynyň talaplaryna laýyklykda sazlanyp bilner.
11. Dürli birleşdiriş görnüşleri: Wakuum ştanga birikdiriş (VBC) görnüşi we kebşirlenen birikdiriş saýlanyp bilner. VBC görnüşi ýerinde izolýasiýa işlemegini talap etmeýär.
